همزمان با تشكيل شوراي نظارت و سنجش آموزش در دانشگاه­ها و مؤسسات آموزش عالي در اواخر دهة 1360، به منظور كمك به اجراي مصوبات آن و گسترش ارتباط مطلوب وسالم بين دانشگاه­ها و وزارت متبوع، طبق بخشنامه وزارتي، در هر يك از دانشگاه­ها دفتري به نام"دفتر نظارت و سنجش آموزش" زير نظر معاونت آموزشي دانشگاه تشكيل گرديد. وزارت‌ فرهنگ‌ و آموزش‌ عالي در شهريور ماه‌ سال‌ 1370، در تجديد نظري‌ در نمودار سازماني‌ خود "دفتر نظارت‌ و سنجش‌ ‏آموزش" را به‌" دفتر نظارت‌ و ارزيابي‌ آموزش‌ عالي"تغيير نام‌ داد و هم‌ اكنون‌ نيز تحت‌ همين‌ عنوان‌ به ‌فعاليت‌ مشغول‌ است‌. در 9/8/1377 "اساسنامه شورای نظارت و ارزيابی دانشگاهها و موسسات آموزش عالی و پژوهشی" و به دنبال آن "آيين نامه تشکيل ‏دفاتر نظارت و ارزيابی دانشگاه­ها و موسسات آموزش عالی و پژوهشی" توسط وزارت‌ فرهنگ‌ و آموزش‌ عالي به دانشگاه­ها ابلاغ گردید‏. متعاقب آن در تاريخ 24/1/1387 آيين نامه جديد تشكيل و نحوه فعاليت دفاتر نظارت و ارزيابي دانشگاه­ها و موسسات آموزش عالي به تصويب وزير علوم، تحقيقات و فناوري رسيده که زیر نظر مستقیم رئیس دانشگاه تشکیل و شروع به فعالیت کنند. در همین راستا دفتر نظارت و ارزیابی دانشگاه تحصیلات تکمیلی صنعتی و فناوری پیشرفته در سال 1391 به منظور ارزیابی، نظارت و ارتقاء کیفیت آموزش و پژوهش تاسیس گردید.